
在半导体产业向先进制程加速迭代的赛道上,微米级的精度误差、复杂环境的作业干扰、规模化部署的效率瓶颈,始终是制约行业升级的核心痛点。自2016年诞生以来,广达集团旗下达明机器人(Techman Robot)以“原生视觉+协作机器人”的创新路径,打破传统设备“机械臂与视觉系统割裂”的行业困局,用全栈技术创新为半导体智造注入强劲动能,从技术追随者成长为全球领域的领航者。
不同于传统机器人“外接视觉模块”的拼凑式设计,达明机器人从创立之初便确立了“手眼合一”的核心定位,将视觉系统与机器人本体深度融合,打造出与生俱来的“智慧慧眼”。这种原生一体化设计,不仅规避了外接设备带来的集成复杂、稳定性不足等问题,更实现了“一个控制器、一套软件”统筹动作控制、视觉识别与AI决策的高效协同,大幅降低了半导体工厂的部署难度与运维成本,为行业带来柔性化生产的全新可能。
半导体生产对精度的苛求,在达明自研的TM Landmark动态视觉补偿技术面前迎刃而解。这项核心专利技术通过将物理标签转化为空间锚点,可实时捕捉六维定位信息(X/Y/Z/RX/RY/RZ),实现±0.01mm的超高精度作业,即便在产线震动、光照变化等复杂环境中,仍能动态补偿误差,确保晶圆抓取、搬运及上下料的稳定性与准确性。在半导体高温固化炉上下料等关键场景中,达明机器人整合AGV/AMR与TM Landmark技术,成功破解了移动基座作业的精度难题,为企业突破良率瓶颈提供了坚实支撑。
展开剩余63%规模化部署中的调试效率与一致性难题,是半导体工厂扩产过程中的高频痛点。达明机器人凭借TM Landmark技术的延伸能力,给出了颠覆性解决方案——新增设备可直接继承主系统逻辑,调试效率大幅提升90%,配合出厂预校正的视觉与运动学参数,实现任务文件一键复制,精准规避多设备协同中的机械误差。同时,其采用22-60V宽电压直流直驱设计,整机能效控制在200-300W,在保障高稳定性的同时践行绿色智造理念,完美适配半导体行业对能耗控制的严苛要求。
在半导体检测环节,达明机器人的高速AI视觉飞拍系统重塑了行业标准。传统检测模式需停线取样,既影响生产效率,又难以实现全量检测。而达明飞拍技术通过同步运动控制、数字信号输出与图像捕捉的深度融合,可在高速运动中完成精准成像与识别,单工件检测时间仅需0.5秒,效率较传统模式提升40%-50%,且无需依赖机械限位装置,大幅简化检测流程。搭配TM Image Manager软件,系统可实现检测图像的全量存储、实时品质管控与全流程追溯,既为产品质量建立完整视觉档案,又能通过数据积累持续优化AI算法,实现检测精度的迭代升级。
从实验室走向量产车间,达明机器人凭借硬核技术实力成功切入全球头部半导体企业供应链,中芯国际、长江存储等行业巨头的生产线中,都能见到其身影,在成熟制程领域的市占率已突破20%。无论是8英寸、12英寸晶圆的精密搬运,还是半导体元件的细微瑕疵检测,达明机器人都能精准适配前端制造、后端封装测试等全流程场景,其产品通过SEMI-S2认证,可完美适配高洁净等级车间的作业需求,成为半导体企业智能化升级的核心装备。
在全球化布局中,达明机器人已服务全球超过50个国家和地区的客户,通过Vision Demo Kit等标准化解决方案,让高端视觉机器人技术触达更多中小型半导体企业。这款以TM Landmark技术为核心的演示套件,可构建独立于机械臂的动态相对坐标系,灵活适配“眼在手”“眼到手”等多种手眼协同模式,在微型元件检测、移动式巡检等场景中展现出极强的适应性,为行业提供了低成本、高效率的智能化转型路径。
从打破技术垄断到构建产业生态,达明机器人的发展轨迹,正是半导体装备国产化、智能化的缩影。面对3nm及以下先进制程的技术挑战,达明机器人持续深耕AI视觉与协作机器人的融合创新,在高精度、低功耗、规模化部署等维度不断突破。未来,随着半导体产业国产化替代的持续深化,达明机器人将以更前沿的技术、更完善的解决方案,推动全球半导体智造向更高精度、更高效能、更柔性化的方向迈进,书写“中国智造”的新篇章。
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